高真空設(shè)備工作時，都是從大氣狀態(tài)下開始抽氣的。為此，在設(shè)備達到預(yù)定的高真空之前，必須先測量低真空。由于測量低真空和高真空一般不能用同一種真空計來完成，因而需采用由低真空計和高真空計組的復(fù)合真空計。應(yīng)用最多的是電離真空計與熱偶真空計組合而成的電離與熱偶式復(fù)合真空計，簡稱為復(fù)合真空計。其測量范圍可擴展至13~10ˉ?Pa，其中13~10ˉ1Pa由熱偶真空計測量；10ˉ1~10ˉ?Pa由電離真空計測量。這類復(fù)合真空計的結(jié)構(gòu)較簡單，且使用方便。

缺點是由于熱偶真空計和電離真空計的測量原理不同，出現(xiàn)了10ˉ1Pa處不能很好銜接的問題。