1)微型化

與非集成化的智能傳感器相比,集成化的智能傳感器體積更小。例如,醫(yī)療上用來(lái)監(jiān)測(cè)病人的血液流動(dòng)情況,可以將“微型壓力傳感器"通過(guò)注射針頭送入病人的血管之中。

2)精度高

與分體結(jié)構(gòu)相比,集成化的智能傳感器的時(shí)間漂移會(huì)大大減小,遲兆,重復(fù)性指標(biāo)將大大改善,精度得到很大的提高。

3) 功能強(qiáng)大

利用現(xiàn)代芯片制造工藝,可以在同一硅片上制作出具有不同功能的多個(gè)傳感器。微米技術(shù)可以在1c㎡大小的硅片上用微機(jī)械加工技術(shù)制作出能包括數(shù)千個(gè)傳感器陣列,這可通過(guò)徽處理器的運(yùn)算處理、模式識(shí)別、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的應(yīng)用,達(dá)到消除傳感器的時(shí)變誤差的不利影響,從而提高智能傳感器的可靠性穩(wěn)定性和分辯能力。

      4) 全數(shù)字化

通過(guò)微機(jī)械加工技術(shù)制作出的諧振式傳感器,可以直接輸出數(shù)字量。不需要A/D轉(zhuǎn)換器便能與微處理器方便地接口,性能更為穩(wěn)定且精度高。

5)使用方便,操作簡(jiǎn)單

它沒(méi)有外部連接元件,且外接連線(包括電源,通訊線在內(nèi))數(shù)量極少。因此,接線使用上極其簡(jiǎn)便。它還可以自動(dòng)進(jìn)行整體自校,無(wú)需用戶長(zhǎng)時(shí)間地反復(fù)多環(huán)節(jié)調(diào)節(jié)與校驗(yàn)。智能化程度越高的智能傳感器,其操作使用就越簡(jiǎn)便,用戶只需編制簡(jiǎn)單的使用主程序就可使用。