圖7-34所示為壓阻式壓力傳感器的外形,它采用最先進的硅微機械加工技術(shù),以硅壓阻力敏元件作為傳感器核心元件制成的壓阻壓力傳感器,測量相對于環(huán)境大氣壓的表壓或負表壓。由于敏感元件采用了獨特的設(shè)計以及計算機輔助技術(shù)(CAD),使得傳感器有優(yōu)良的線性特性及很高的穩(wěn)定性和可靠性,是當代最先進的壓力傳感器。

在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、材料、力學、土木工程學、巖土力學、創(chuàng)傷醫(yī)學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測量一些變化頻率高.壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值有效值,這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬的響應(yīng)頻帶,以保證足夠的動態(tài)測壓精度。高頻壓力傳感器利用微機械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小,固有頻率高 ,有優(yōu)良的彈性力學特性,綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器,是動態(tài)測壓的首選。其實物如圖7- 35所示。

普通的壓阻式壓力傳感器,其敏感控測惠斯頓全橋的4個力敏電阻是用集成電路工藝制造的,電阻間用PN結(jié)相互隔離。由于受到PN結(jié)耐溫限制,最高使用溫度僅125℃而實際上由于PN結(jié)反向沁電流隨溫度的指數(shù)上升關(guān)系,在溫度超過 100℃后,傳感器性能已大大劣化,這限制了普通壓阻傳感器的可用溫度范圍。而高溫壓力傳感器可以擴展溫度,利用最新的技術(shù)可以使溫度擴展至 450~850℃。圖7 - 36所示為高溫壓力傳感器的外形。

在空氣動力學研究、飛行器及發(fā)動機試驗 、風洞試驗、流體力學及水工試驗 、水輪機及水下兵器試驗 、生物醫(yī)學應(yīng)用、化爆或核爆沖擊波等許多研究中,出于對被測流場,安放位置或動態(tài)頻響的要求,必須原位測壓時,常常對傳感器外形尺寸的微型化有較為苛刻的要求,以期在不干擾流場狀態(tài)情況下,復現(xiàn)脈動流場的變化規(guī)律。微型壓力傳感器采用了微型化設(shè)計的微機械加工工藝制作的集成壓阻力敏元件,進行了精致巧妙的微型封裝 ,具有優(yōu)良的動靜態(tài)特性。其實物如圖7-37所示。