根據(jù)電渦流效應(yīng)制成的傳感器稱(chēng)為電渦流式傳感器傳感器。按照電渦流在導(dǎo)體內(nèi)的貫穿情況，此傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式兩類(lèi)，但從基本工作原理上來(lái)說(shuō)它們?nèi)允窍嗨频摹?/span>

電渦流式傳感器最大的特點(diǎn)就是能對(duì)位移、厚度、表面溫度、速度、應(yīng)力、材料損傷等進(jìn)行非接觸式連續(xù)測(cè)量，同時(shí)還具有體積小、靈敏度高、頻率響應(yīng)寬等特點(diǎn)，應(yīng)用極其廣泛。

【工作原理】

圖9-19為電渦流式傳感器的原理圖，該圖由傳感器線圈和被測(cè)導(dǎo)體組成線圈-導(dǎo)體系統(tǒng)。根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律，當(dāng)傳感器線圈通以正弦交流電I₁時(shí)，線圈周?chē)臻g必然產(chǎn)生正弦交變磁場(chǎng)H₁，使置于此磁場(chǎng)中的金屬導(dǎo)體中感應(yīng)電渦流I₂,I₂又產(chǎn)生新的交變磁場(chǎng)H₂。根據(jù)楞次定律，H_2d 作用將反抗原磁場(chǎng)H₁，導(dǎo)致傳感器線圈的等效阻抗發(fā)生變化。

  由上可知，線圈阻抗的變化完全取決于被測(cè)金屬導(dǎo)體的電渦流效應(yīng)。而電渦流效應(yīng)既與被測(cè)體的電阻率ρ、磁導(dǎo)率μ以及幾何形狀有關(guān)，又與線圈幾何參數(shù)、線圈中激磁電流頻率有關(guān)，還與線圈與導(dǎo)體間的距離x有關(guān)。因此，傳感器線圈受電渦流影響時(shí)的等效阻抗Z的函數(shù)關(guān)系式為Z=F（ρ，μ，r，f，x）式中，r為線圈與被測(cè)體的尺寸因子。

  如果保持上式中其他參數(shù)不變，而只改變其中一個(gè)參數(shù)，傳感器線圈阻抗Z就僅僅是這個(gè)參數(shù)的單值函數(shù)。通過(guò)與傳感器配用的測(cè)量電路測(cè)出阻抗Z的變化量，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)該參數(shù)的測(cè)量。